ACM 리서치, 열 및 플라즈마 강화 ALD 퍼니스 장비 인증으로 원자층 증착 포트폴리오 강화

반도체 및 첨단 웨이퍼 레벨 패키징(WLP) 애플리케이션을 위한 웨이퍼 처리 솔루션 선도 기업인 ACM 리서치(ACM Research, Inc.) (나스닥: ACMR)는 자사의 Ultra Fn A 플라즈마 강화 원자층 증착(Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition, PEALD) 퍼니스 장비가 중...