서울대 반도체공동연구소, 엘오티베큠으로부터 ‘HD1200’ 고진공 펌프 기증 받아 G NewsWire_semic (207.♡.13.127) 0 8 06.24 09:42 https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=1013641&sourceType=rss + 0 http://api.newswire.co.kr/rss/industry/607 + 1 서울대학교 반도체공동연구소는 반도체 진공장비 전문기업 엘오티베큠(LOT Vacuum)으로부터 고진공 스크루 펌프 ‘HD1200’ 2대를 기증받았다고 밝혔다. HD1200은 10-3 Torr(10-1 Pa)급의 안정적인 고진공을 신속히 확보·유지할 수 있는 장비로, 금속 스퍼터링(sputter...
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