서울대 공대 기계공학부 김도년 교수 연구팀, 반도체 리소그래피 결함 예측 기술로 2024 IEEE TSM 최우수논문상 수상

서울대학교 공과대학은 기계공학부 김도년 교수 연구팀의 논문이 반도체 운영 분야 국제 학술지 ‘IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing (이하 IEEE TSM)’에서 2024년 최우수논문상(Best Paper Award)을 수상했다고 밝혔다. 해당 분야의 가장 권위 있는 ...